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          002008
          
            
          
        
          
        
        
          
            
          
                
                    
                        
                        
                    
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                            |                            高功率激光切割機
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                            |                            激光焊接機
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                            |                            售后問題
                                                        
                        
          
                    
          
                    
          
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                                                                                        包裝行業
                                                                                        電子煙行業
                                                                                
                                        
          
									
          
								
          
                                                                                        
                            
                            
                        
          
                        
          
                            
          
                                
          關注大族：
          
                                
          
                                                                            
          
                                            
                                                
                                            
                                            
          
                                                
                                            
          
                                        
          
                                                                                                                
          
                                            
                                                
                                            
                                            
          
                                                
                                            
          
                                        
          
                                                                                                                
          
                                            
                                                
                                            
                                            
          
                                                
                                            
          
                                        
          
                                                                                                        
          
                            
          
                        
          

                    
          
                
          
            
          
        
          
                
          
            
          
                
          
                    
          
                        
          
                            
          客服熱線（售前、售后）
          
                            
          400-666-4000
          
                        
          
                        
                            [→]
                            立即咨詢
                        
                    
          
                    
          
                        關閉
                        [x]
                    
          
                
          
            
          
        
          
        
    
          

          
    


    
    


    
    
        


    
        
    
    
    

          

    
          
        
        

          
    
          
        
          
            
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                            產品中心>外鏈產品>LED步進式光刻機                    
          
    
          

          

        
          
            
          
                
          
                    
          
                        
          
                                                        
          LED步進式光刻機
          
                                                    
          
                        
          
                    
          
                
          
                
          
                    
          LED步進式光刻機
          
                    
          
                        產品特點
                        適用于4-6英寸基底LED硅芯片/藍寶石芯片生產中的光刻工藝，采用超大曝光視場，大大減少曝光次數，顯著提高產能；同時該設備具有高分辨率、高線寬均勻性等特點。?
                              
          
                    
          
                                            
          
                
          
            
          
        
          
    
          

    
          
        
          
            
          
                                
          
                    
          產品應用
          
                    
          
                        
          應用范圍：LED晶圓。
                              
          
                                    
          
                                
          
                    
          產品參數
          
                    
          
                        
          主要參數加工尺寸4”、6“晶圓
          加工速度4", 137pcs/h
          6", 110pcs/h
          加工精度分辨率2μm L/S
          平臺參數定位精度
          X: ±200nm
          Y: ±200nm
          Z: ±350nm
          Rx Ry Rz：10urad
          激光器參數光源：2000W UV Lamp，波長365nm
          感光區域：53*38.5mm
          工作照度：>550mW/cm2(New lamp)
          光源均勻度：≤3%
          Tact time4”：43.1秒(第一片)，循環TT 25.6秒
          6”：49.1秒(第一片)，循環TT 31.6秒
          稼動率>95%

                              
          
                
          
                            
          
            
          
                
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                [圖標]
            
            聯系我們
        
        
          
            
          
                                    
          
                        服務熱線
                        
          
                            
          服務熱線: 
          
                                                        
          400-666-4000
          
                                                    
          
                    
          
                                                        
          
                        在線溝通
                        
          
                            
          在線溝通: 
          
                                                        立即咨詢
                                                    
          
                    
          
                                                        
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          打樣申請/技術支持
          
                
          [x]
          
            
          
            
          
                
          
                    
                
          
                
          
                    
          
                        
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          *
          
                        
                    
          
                
          
                
          
                    
          
                        
          
                        
                    
          
                    
          
                        
                    
          
                
          
                
          
                    
          咨詢產品
          
                    
          
                        
                    
          
                
          
                
          
                    
          
                        
                    
          
                
          
                
          
                    
          
                        
                        驗證碼
                    
          
                
          
                
          
                    
                
          
                
          標有 * 的字段為必填，收到后我們將在2個工作日與您聯系
          
            
          
        
          
    
          
    
    
    
          
        
          
        
          
            
          
                
          申請打樣
          
                
          [x]
          
            
          
            
          
                
          
                    
                
          
                
          
                    
          
                        
          
                            
          *
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
          *
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
          *
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
          *
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
          *
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
                            [→]
                            下一步
                        
                    
          
                    
          標有 * 的字段為必填
          
                
          
                
          
                    
                    
          
                        
          
                        
          
                            
          *
          
                            激光加工類型（多選）
                        
          
                        
          
    
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
    
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
          *
          
                            材料類型（多選）
                        
          
                        
          
    
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
                                                        
    
                           
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
                        
          
                    
          
                    
          
                        
          
                            
                            驗證碼
                        
          
                    
          
                    
          
                    
          
                        
                    
          
                    
          標有 * 的字段為必填，收到后我們將在2個工作日與您聯系
          
                
          
            
          
        
          
    
          

    
     
    
    


    
    
    
    
    

    
    




    
    







    
    
    
    
    

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